Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Е. В. Берлин, Л. А. СейдманՏարի:
2014
Հրատարակչություն:
Техносфера
Լեզու:
russian
Էջեր:
255
ISBN 13:
9785948363691
Սերիաներ:
Мир материалов и технологий
Ֆայլ:
PDF, 373.30 MB
IPFS:
,
russian, 2014